Publié Horizontal buried channels in monocrystalline silicon Publié le 30 avril 2005 - Conf. Proc. of DTIP of MOEMS & MEMS 2005 Auteurs : Olivier de Sagazan, Matthieu Denoual, P. Guil, D. Gaudin, Bruno Le Pioufle, Olivier Bonnaud Voir la publication sur HAL Precedent Retour à la liste Suivant