Publié Horizontal buried channels in monocrystalline silicon Publié le 31 décembre 2003 - Proceeding of the MEMS 2004 conference Auteurs : Olivier de Sagazan, Matthieu Denoual, P. Guil, D. Gaudin, Bruno Le Pioufle, Olivier Bonnaud Voir la publication sur HAL Precedent Retour à la liste Suivant