Films minces ultradoux pour la réalisation de microcapteurs GMI

Le procédé de dépôt de films minces de Finemet par pulvérisation RF a été étudié de manière à minimiser la coercivité des films. Ce matériau devient particulièrement intéressant pour la réalisation de microcapteurs à magnétoimpédance géante puisque la sensibilité et l'hystérésis de ces capteurs sont directement liés aux propriétés de la couche ferromagnétique qui les constitue. La coercivité du Finemet est particulièrement sensible à la contamination en oxygène. La vitesse de dépôt nécessairement rapide induit alors des contraintes importantes. La température de recuit a été optimisée de manière à relaxer les contraintes et amorcer la cristallisation. Les études ont montré que les conditions de recuit optimales correspondent à la température de cristallisation Tx. Après optimisation des conditions de dépôt et de recuit, la coercivité a été réduite à 10 A m-1 pour un film de 500 nm. L'intégration du Finemet dans des microcapteurs GMI a permis d'obtenir des sensibilités importantes, du même ordre de grandeur que celle de capteurs macroscopiques (autour de 4100 V/T/A pour un capteur de 4 mm x 200 µm x 2 µm).