Etude du vieillissement de la couche de métallisation de composants de puissance à semi-conducteur

L'étude proposée concerne les mécanismes de vieillissement de la couche de métallisation déposée sur les puces de composants à semi-conducteur de puissance, et l'effet de ce vieillissement sur les caractéristiques électriques d'un composant de puissance. Pour accélérer le vieillissement de cette couche de métallisation, nous utilisons des essais de cyclage actif à l'aide de régimes de court-circuit répétitifs. Régulièrement, des caractérisations électriques de la couche de métallisation sont réalisées et la structure de la métallisation est également observée à l'aide d'un microscope électronique à balayage. Nous avons ainsi cherché à relier les évolutions constatées électriquement au vieillissement de la métallisation, afin de chercher à mieux comprendre l'origine physique des mécanismes physiques de vieillissement et l'effet de la dégradation de cette couche de métallisation sur les performances électriques des dispositifs testés.