Développement d'une puce instrumentée adaptée à la mesure de température dans les modules de puissance

La mesure de la température des composants semi-conducteurs de puissance est primordiale, notamment pour l'évaluation des performances et dans la perspective de proposer le suivi de l'état de santé des systèmes de conversion d'énergie électrique. Aujourd'hui, les paramètres électriques thermosensibles (PETS) sont largement utilisés pour estimer une température représentative de celle de ces composants, souvent dans des conditions de fonctionnement différentes de l'environnement réel des systèmes (mesures off-line). Il existe néanmoins plusieurs PETS dédiés à la mesure de température dans des conditions de fonctionnement réel des composants (mesures on-line). La principale difficulté réside cependant dans l'approche de validation de la précision de mesure obtenue avec ces PETS. Cet article présente un moyen permettant d'estimer la température grâce à une puce instrumentée adaptée à une utilisation dans les modules de puissance. L'objectif est de fournir un outil robuste et fiable pour la mesure de la température dans les modules de puissance en fonctionnement. Les résultats préliminaires présentés dans cet article portent sur les procédés de réalisation du capteur et démontrent le bon fonctionnement de cette puce instrumentée en régime de dissipation continue.