Développement d'une puce instrumentée adaptée à la mesure de température dans les modules de puissance

La mesure de la température des composants semi-conducteurs de puissance est primordiale, notamment pour l'évaluation des performances et dans la perspective de proposer le suivi de l'état de santé des modules à composants semi-conducteur de puissance. Aujourd'hui, les paramètres électriques thermosensibles (PETS) sont largement utilisés pour estimer une température représentative de celle de ces composants, souvent dans des conditions de fonctionnement différentes de l'environnement réel de ces derniers (mesures off-line). Il existe néanmoins plusieurs PETS dédiés à la mesure de température dans des conditions de fonctionnement réel des composants (mesures on-line). La principale difficulté réside cependant dans l'évaluation de la précision des mesures obtenues avec ces PETS. Cet article présente un moyen permettant d'estimer la température grâce à une puce instrumentée adaptée à une utilisation dans les modules de puissance. L'objectif est de fournir un outil robuste et fiable pour la mesure de la température dans les modules de puissance sous les contraintes fonctionnelles. Les résultats préliminaires présentés dans cet article portent sur les procédés de réalisation du capteur et démontrent le bon fonctionnement de cette puce instrumentée en régime de dissipation continue.